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J-GLOBAL ID：200902212387673970   整理番号：09A0477552

ナノインデンテーション試験高度化に向けた新手法

著者 (3件)： 藤塚将行 (機械振協 技研) ,  山口誠 (機械振協 技研) ,  上野滋 (機械振協 技研)
資料名： 材料試験技術  (Journal of Material Testing Research Association of Japan)
巻： 54  号： 2  ページ： 119-123  発行年： 2009年04月15日 
JST資料番号： S0909A  ISSN： 0285-2470  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ナノインデンテーションは,押込み荷重や変位量が微小なために,従来の硬さ試験では無視できる要因について検討が必要である。本文は,ナノインデンテーション試験の高度化のための新しい手法として,試料の三次元表面形状の観察のために,位相シフト干渉ユニットを利用したナノインデンテーションテスタの開発,及び試料の残留応力・結晶性評価のための共焦点・ラマン分光分析複合装置の利用について紹介した。また,圧痕周辺部の物性評価への適用例について報告した。

シソーラス用語： *ナノインデンテーション ,  ISO規格 ,  *残留応力 ,  結晶度 ,  *Raman分光分析 ,  圧痕 ,  *硬さ試験 ,  載荷試験 ,  非接触測定 ,  位相シフト
準シソーラス用語： 押込試験

分類 (3件)： 材料試験  (HB02020U) ,  弾性力学一般  (HC02010M) ,  分光分析  (CC03012W)

引用文献 (8件)：

• Nagy P, Juhász A, Tasnádi P, Kalman E,“ Shape Evaluation of HV-Indents by AFM”, Journal of Computer-Assisted Microscopy, vol 10, no.2, pp. 63-69(7), June 1998
• T. Rouxel, J. C. Sanglebceuf, C. Moysan, B. Truffin,“ Indentation topometry in glasses by atomic force microscopy”, Journal of Non-Crystalline Solids., vol.344, issues 1-2, pp. 26-36, September 2004.
• 電子線を用いた表面形状評価技術, 田口佳男, 小俣有紀子, 表面技術, 第57巻8号, p18~22(2006)
• 例えば, 最近のSiのひずみ測定について, 中島信一, 三谷武士, 吉川正信, 応用物理vol.75, no.10(2006)1224
• ひずみ以外の評価として, 例えば, 加工変質層の非破壊検査について, 閻紀旺, 日本機械学会誌, vol.109, no.1055(2006)49

タイトルに関連する用語 (3件)： ナノインデンテーション ,  試験 ,  高度化