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J-GLOBAL ID：200902212394104050   整理番号：09A0019041

二軸マイクロフラックスゲートセンサ

Two-axis micro fluxgate sensor

著者 (4件)： KANG Chunlei (National Synchrotron Radiation Laboratory; Univ. of Sci. and Technol. of China, Hefei) ,  YANG Jianzhong (Dep. of Precision Instruments and Mechanology; Tsinghua Unversity, Beijing) ,  TIAN Yangchao (National Synchrotron Radiation Laboratory; Univ. of Sci. and Technol. of China, Hefei) ,  LIU Gang (National Synchrotron Radiation Laboratory; Univ. of Sci. and Technol. of China, Hefei)
資料名： Gongneng Cailiao yu Qijian Xuebao  (Gongneng Cailiao yu Qijian Xuebao)
巻： 14  号： 2  ページ： 323-326  発行年： 2008年 
JST資料番号： C2096A  ISSN： 1007-4252  CODEN： GCQXFW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 一種の二軸マイクロフラックスゲートセンサを設計し,作製した。X軸とY軸の弱い磁場を同時に測定するために,励起およびピックアップコイルでねじれる正方リング状の磁心を設計した。このマイクロセンサは,MEMS法により作製し,センサの磁心として5μm厚みのNi_(o.8)Fe_(o.2)(パーマロイ)膜をマイクロ電気めっきした。センサの寸法は,コイル幅50μmの7×7mm2であった。その結果,このセンサを使って弱い磁場を測定できることが分かった。従って,それは,軍,医用および宇宙研究のような色々な分野で有用であろう。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *磁気回路 ,  *マイクロ化 ,  *センサ ,  *磁場測定 ,  磁心 ,  *MEMS ,  パーマロイ ,  ニッケル合金 ,  鉄含有合金 ,  電気めっき ,  金属薄膜
準シソーラス用語： *フラックスゲート

分類 (2件)： 磁気の計測法・機器  (AD07060U) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 二軸 ,  フラックスゲートセンサ