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文献
J-GLOBAL ID:200902212397577847   整理番号:07A0666544

微小流量用の熱調節バルブ

Thermally regulated valve for minute flows
著者 (4件):
資料名:
巻: 25  号:ページ: 686  発行年: 2007年07月 
JST資料番号: C0789B  ISSN: 0734-2101  CODEN: JVTAD6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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アルミニウム円筒中で共に軸上で保持されたミクロ構造のシリコン...
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分類 (2件):
分類
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配管材料,弁  ,  真空技術 
タイトルに関連する用語 (3件):
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