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文献J-GLOBAL ID:200902212397955400整理番号:09A0856956

Design and fabrication of novel micro electromagnetic actuator

新しい電磁マイクロアクチュエータの設計と製造

著者:LEE Chia‐Yen(National Pingtung Univ., Pingtung, TWN)、CHEN Zgen‐Hui(Da‐Yeh Univ., Changhua, TWN)、CHANG Hsien‐Tseng(National Cheng‐Kung Univ., Tainan, TWN)・・・
資料名:Microsyst Technol 巻:15 号:8 ページ:1171-1177
発行年:2009年08月
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