JACOBSEN H. について
Fraunhofer Inst. for Silicon Technol. ISIT, Itzehoe, DEU について
JUNG Th. について
Fraunhofer Inst. for Surface Engineering and Thin Films IST, Braunschweig, DEU について
ORTNER K. について
Fraunhofer Inst. for Surface Engineering and Thin Films IST, Braunschweig, DEU について
SCHIFFMANN K.i. について
Fraunhofer Inst. for Surface Engineering and Thin Films IST, Braunschweig, DEU について
QUENZER H.-j. について
Fraunhofer Inst. for Silicon Technol. ISIT, Itzehoe, DEU について
WAGNER B. について
Fraunhofer Inst. for Silicon Technol. ISIT, Itzehoe, DEU について
Sensors and Actuators. A. Physical について
チタン酸鉛 について
PZT【鉛化合物】 について
固体デバイス製造技術一般 について
ガス流 について
スパッタリング について
シリコン基板 について
圧電性 について
チタン酸鉛 について
薄膜プロセス について
開発 について