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J-GLOBAL ID：200902212401213960   整理番号：07A1157302

平板螺旋の誘導結合マイクロ波プラズマ源のモデル化

Modeling of planar spiral inductively-coupled microwave plasma source

著者 (3件)： LIAO Bin (Dep. of Electronic Engineering ,East China Normal Univ., Shanghai) ,  CAO Huanli (Dep. of Electronic Engineering ,East China Normal Univ., Shanghai) ,  ZHU Shouzheng (Dep. of Electronic Engineering ,East China Normal Univ., Shanghai)
資料名： Dianbo Kexue Xuebao  (Dianbo Kexue Xuebao)
巻： 22  号： 3  ページ： 400-404  発行年： 2007年 
JST資料番号： C2508A  ISSN： 1005-0388  CODEN： DKEXFT  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 低電力平板螺旋の誘導結合マイクロ波プラズマ源の2.45GHzにおけるモデルを本論文で提示した。平板螺旋コイルの品質係数を等価回路によって推定し,数値的に解析した。結果は,無負荷の品質係数が構成,サイズおよび周波数によって変化し,共鳴周波数の近くで最大に達することを示した。これは,低電力平板螺旋の誘導結合マイクロ波プラズマ源を最適化するための理論的指針と成り得る。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *プラズマ源 ,  プラズマ ,  *誘導結合プラズマ ,  数値解析 ,  *スロットアンテナ ,  共鳴 ,  共振周波数 ,  品質特性 ,  解析モデル
準シソーラス用語： マイクロ波プラズマ ,  品質係数

分類 (2件)： プラズマ装置  (BJ02082I) ,  アンテナ  (ND06000M)

タイトルに関連する用語 (5件)： 平板 ,  螺旋 ,  誘導結合 ,  マイクロ波プラズマ ,  モデル化