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J-GLOBAL ID:200902212405247525   整理番号:08A0419977

双安定球面マイクロ機構

Spherical Bistable Micromechanism
著者 (2件):
資料名:
巻: 130  号:ページ: 045001.1-045001.6  発行年: 2008年04月 
JST資料番号: H0960A  ISSN: 1050-0472  CODEN: JMDEDB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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マイクロミラーのような,面外リンクの双安定位置決め用新装置の設計について論述した。球面機構設計と双安定性の統合により幾つかの利点が得られるようになった。双安定位置決めにより,動力は位置の移行に必要なだけである。微小外乱に対するロバスト性や面外姿勢の出力リンクが実現可能に成ったことなどである。位置,ポテンシャルエネルギー,入力トルク,最大応力などの方程式を提示した。表面マイクロマシニング・プロセスを用いて,本装置を製作し,その双安定性を実証した。
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分類 (2件):
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運動機構  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (2件):
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