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J-GLOBAL ID：200902212416553210   整理番号：09A0437073

薄膜基板に集積したW帯エアキャビティフィルタ

A W-Band Air-Cavity Filter Integrated on a Thin-Film Substrate

著者 (2件)： SONG Sangsub (Seoul National Univ., Seoul, KOR) ,  SEO Kwang-Seok (Seoul National Univ., Seoul, KOR)
資料名： IEEE Microwave and Wireless Components Letters  (IEEE Microwave and Wireless Components Letters)
巻： 19  号： 4  ページ： 200-202  発行年： 2009年04月 
JST資料番号： W0099A  ISSN： 1531-1309  CODEN： IMWCBJ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ミリ波通信システムの高性能フィルタ要求に向けて,ミリ波SOP(System-On-Package)と互換性のある薄膜基板上のW帯エアキャビティフィルタを開発した。シリコンキャビティ構造を低コストウエットエッチング技術により製作し,フリップチップマウントとした。共振周波数94.18GHzで無負荷Q851を示し,中央周波数93.8GHz,1.3% 3dB比帯域幅で挿入損失17.5dB,リターンロス14.5dB以上を得た。

シソーラス用語： *帯域フィルタ ,  ミリ波通信 ,  *エッチング ,  *フリップチップ法 ,  ウェットエッチング
準シソーラス用語： 共振器フィルタ

分類 (1件)： フィルタ一般  (NC04021I)

タイトルに関連する用語 (3件)： 薄膜 ,  集積 ,  W帯