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文献J-GLOBAL ID:200902212421341515整理番号:08A0446226

ランプ急速熱処理装置における昇温速度の高精度制御方法の検討

Precise Control Method of Temperature Rising Speed during Rapid Thermal Processing with Lamp Heaters

著者:平澤茂樹(神戸大 大学院工学研究科)、戸田禎孝(神戸大 大学院自然科学研究科)
資料名:日本機械学会論文集 B編 巻:74 号:740 ページ:767-773
発行年:2008年04月25日
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