MEMSNASプロセス:ほとんど全形状の3次元構造の微細加工のためのマイクロローディング

BOUROUINA T; MASUZAWA T; FUJITA H

文献

J-GLOBAL ID：200902212430774939 整理番号：04A0333381

MEMSNASプロセス:ほとんど全形状の3次元構造の微細加工のためのマイクロローディング

The MEMSNAS Process: Microloading Effect for Micromachining 3-D Structures of Nearly All Shapes

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巻： 13 号： 2 ページ： 190-199 発行年： 2004年04月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

ほとんど全形状の3次元構造の微細加工のための技術的なプロセス...

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固体デバイス製造技術一般

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