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J-GLOBAL ID:200902212430811621   整理番号:06A0690952

集積化圧電抵抗読取装置を用いた,微細加工信号変換器ベース化学センサ

Chemical Sensors Based on Micromachined Transducers with Integrated Piezoresistive Readout
著者 (4件):
資料名:
巻: 78  号: 16  ページ: 5633-5638  発行年: 2006年08月15日 
JST資料番号: A0395A  ISSN: 0003-2700  CODEN: ANCHAM  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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分類 (3件):
分類
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分析機器  ,  固体デバイス製造技術一般  ,  無機化合物の化学分析 
物質索引 (1件):
物質索引
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