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J-GLOBAL ID：200902212435931200   整理番号：04A0356939

アルミニウム電極を有する炭化ケイ素薄膜相対湿度センサ

SILICON CARBIDE MEMBRANE RELATIVE HUMIDITY SENSOR WITH ALUMINIUM ELECTRODES

著者 (5件)： CONNOLLY E J (Delft Univ. Technol., Delft, NLD) ,  PHAM H T M (Delft Univ. Technol., Delft, NLD) ,  GROENEWEG J (Delft Univ. Technol., Delft, NLD) ,  SARRO P M (Delft Univ. Technol., Delft, NLD) ,  FRENCH P J (Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 17th  ページ： 193-196  発行年： 2004年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 厳しい環境に耐える多孔質炭化ケイ素薄膜と,クリーンルームに適...

シソーラス用語： 相対湿度 ,...
準シソーラス用語： ふっ化水素酸

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  湿度測定,湿度計  (AD06020V)

タイトルに関連する用語 (4件)： アルミニウム電極 ,  炭化 ,  ケイ素薄膜 ,  湿度センサ