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J-GLOBAL ID:200902212437761808   整理番号:07A1131313

パルスレーザアニール処理による超低導電損失600V非パンチスルー絶遠ゲート型バイポーラトランジスタに関する実験的検討

Experimental Investigation of Pulsed-Laser-Annealed Ultralow-Conduction-Loss 600-V Nonpunchthrough Insulated-Gate Bipolar Transistors
著者 (7件):
資料名:
巻: 54  号: 11  ページ: 3103-3106  発行年: 2007年11月 
JST資料番号: C0222A  ISSN: 0018-9383  CODEN: IETDAI  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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2重パルスレーザアニール処理プロセスを用いて,従来のプロセス...
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トランジスタ 

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