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文献J-GLOBAL ID:200902212449733079整理番号:09A0240703

Arc Discharge Optimization to Obtain High Current Boron and Phosphorus Ion Beam from a Multi-Cusp Ion Source

複数カスプ・イオン源から大電流ホウ素およびリンイオンビームを得るためのアーク放電最適化

著者:INOUCHI Y.(Nissin Ion Equimpment Col., Ltd., Shiga‐ken, JPN)、TAKAHASHI G.(Nissin Ion Equimpment Col., Ltd., Shiga‐ken, JPN)、DOHI S.(Nissin Ion Equimpment Col., Ltd., Shiga‐ken, JPN)・・・
資料名:Proc Int Disp Workshops 巻:15th 号:Vol.3 ページ:1711-1714
発行年:2008年
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