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J-GLOBAL ID：200902212455933543   整理番号：08A0541557

マイクロEDMと共蒸着のハイブリッドプロセスを用いたミニチュアダイヤモンド研削工具の作製

Fabrication of a miniature diamond grinding tool using a hybrid process of micro-EDM and co-deposition

著者 (3件)： CHEN Shun-Tong (National Taiwan Normal Univ., Taipei, TWN) ,  LAI Yun-Cheng (National Taiwan Normal Univ., Taipei, TWN) ,  LIU Ching-Chang (National Taiwan Normal Univ., Taipei, TWN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 18  号： 5  ページ： 055005,1-8  発行年： 2008年05月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 外径100~200μmの微小研削工具を開発することができた。まずマイクロEDMによって,適切な表面粗さと外径の炭化タングステン(WC)基板を作成した。複合共蒸着タンク中に設置した特別設計の分離板により,電鋳溶液を十分混合し,液体の衝撃エネルギーを低減し,必要なダイヤモンド粒子数を減らすことができた。ミニチュア漏斗型を考案し,堆積ダイヤモンド粒子数を減らし,しかもマイクロ研削工具上に豊富かつ均一に分布させた。セラミック部品の精密な研削加工ができ,開発したアプローチを実証した。微小で精密なWCダイス,歯科用ツール,セラミック部品の製造にとって,高速でコスト効率の良い方法となることが分かった。

シソーラス用語： 放電加工 ,  同時蒸着 ,  *ダイヤモンド工具 ,  研削盤 ,  炭化タングステン ,  型 ,  *研削
準シソーラス用語： EDM【放電加工】 ,  共蒸着 ,  研削加工

分類 (2件)： 研削  (QC03000R) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： EDM ,  共蒸着 ,  ハイブリッドプロセス ,  ミニチュア ,  ダイヤモンド ,  研削工具 ,  作製