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文献J-GLOBAL ID:200902212471400806整理番号:08A0010775

Low-pressure Micro Plasma Generation using Microwave in Mirror-type Magnetic Fields

ミラー型磁場におけるマイクロ波を用いた低圧ミクロプラズマ発生

著者:FUJIYAMA H.(Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)、KUROGI D.(Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)、FURUE Y.(Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)・・・
資料名:プラズマ科学シンポジウム/プラズマプロセシング研究会プロシーディングス 巻:23rd ページ:199-200
発行年:2006年
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