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文献J-GLOBAL ID:200902212488243402整理番号:05A0994909

Effect of process parameters on the structure of Si-Ti-N nanostructured coatings deposited by hypersonic plasma particle deposition

超音速プラズマ粒子堆積法で堆積したSi‐Ti‐Nナノ構造皮膜の構造に及ぼすプロセスパラメータの影響

著者:HAFIZ J.(Dep. of Mechanical Engineering, Univ. of Minnesota, 111 Church St. SE, Minneapolis, MN 55455, USA)、MUKHERJEE R.(Dep. of Mechanical Engineering, Univ. of Minnesota, 111 Church St. SE, Minneapolis, MN 55455, USA)、WANG X.(Dep. of Mechanical Engineering, Univ. of Minnesota, 111 Church St. SE, Minneapolis, MN 55455, USA)・・・
資料名:Surf Coat Technol 巻:200 号:5-6 ページ:1524-1529
発行年:2005年11月21日
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