オゾン発生のために熱分解により作製したTi/Pt/(Pt-TaO<sub>x</sub>)電極とスパッタリングにより作製したSi/Pt/TaO<sub>x</sub>電極

KANEDA Kazuhiro; KANEDA Kazuhiro; IKEMATSU Mineo; ISEKI Masahiro; TAKAOKA Daizo; HIGUCHI Tohru; HATTORI Takeshi; TSUKAMOTO Takeyo; YASUDA Masashi

文献

J-GLOBAL ID：200902212491484879 整理番号：06A0500308

オゾン発生のために熱分解により作製したTi/Pt/(Pt-TaO_x)電極とスパッタリングにより作製したSi/Pt/TaO_x電極

Ti/Pt/(Pt-TaO_X) Electrode Fabricated by Thermal Decomposition and Si/Pt/TaO_X Electrode Fabricated by Sputtering for Ozone Generation

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資料名：
巻： 45 号： 6A ページ： 5154-5162 発行年： 2006年06月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

オゾンの電気化学発生のための二つのタイプの電極を熱分解とスパ...

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酸化,還元 , その他の電気・電子部品

引用文献 (25件)：

D. J. Kjos, R. R. Furgason and L. L. Edwards: Proc.1st Int. Symp. Ozone, 1975, p. 194.
Y. Kondo, K. Ikegami, M. Iseki, D. Takaoka and K. Takizawa: Bokin Bobai 32(2004)1 [in Japanese]
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W. S. Otwell, N. Blake, D. E. Sweat, R. G. Rice, R. Marschalk and J. Farquhar: Proc.7th Ozone World Congr., 1985, p. 271.

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オゾン発生のために熱分解により作製したTi/Pt/(Pt-TaOx)電極とスパッタリングにより作製したSi/Pt/TaOx電極

オゾン発生のために熱分解により作製したTi/Pt/(Pt-TaO_x)電極とスパッタリングにより作製したSi/Pt/TaO_x電極