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文献J-GLOBAL ID:200902212491484879整理番号:06A0500308

Ti/Pt/(Pt-TaOX) Electrode Fabricated by Thermal Decomposition and Si/Pt/TaOX Electrode Fabricated by Sputtering for Ozone Generation

オゾン発生のために熱分解により作製したTi/Pt/(Pt‐TaOx)電極とスパッタリングにより作製したSi/Pt/TaOx電極

著者:KANEDA Kazuhiro(Sanyo Electric Co., Ltd., Gunma, JPN)、KANEDA Kazuhiro(Tokyo Univ. Sci., Tokyo, JPN)、IKEMATSU Mineo(Sanyo Electric Co., Ltd., Gunma, JPN)・・・
資料名:Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers 巻:45 号:6A ページ:5154-5162
発行年:2006年06月15日
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