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J-GLOBAL ID:200902212505134280   整理番号:07A0324471

SSTAの精度評価用測度の提案

Proposal of Metrics for SSTA Accuracy Evaluation
著者 (7件):
資料名:
巻: E90-A  号:ページ: 808-814  発行年: 2007年04月01日 
JST資料番号: F0699C  ISSN: 0916-8508  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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最近の縮小プロセス技術の進歩に伴い,プロセスパラメータの変動...
シソーラス用語:
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分類 (1件):
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集積回路一般 
引用文献 (5件):
タイトルに関連する用語 (4件):
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