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J-GLOBAL ID:200902214212760791   整理番号:09A1223884

ガラス切削が可能な超精密旋盤の開発

著者 (3件):
資料名:
巻: 24  号: 13  ページ: 014-015  発行年: 2009年12月01日 
JST資料番号: X0147A  ISSN: 0912-5582  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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ガラス切削が可能な超精密旋盤は,100N/μm以上の静剛性,加工時の振動抑制可能な案内,0.1μm以下の切込み量を安定して実現する位置決め機構,0.1μm以下の切込み量を加工範囲で維持可能な運動精度,熱変形で切込み深さが変動しない温度安定性が必要である。本精密旋盤では,ベッド上に台座を設け,その上に工具を駆動する案内機構(X軸)を搭載した。工具とテーブル位置検出用スケールが接近可能となり,X軸の案内機構には切削力によるモーメントが発生しない。X軸中央は両端支持のため自重による変形が生じるが,影響は微小である。X軸の水平方向真直度の測定では,真直度0.07μm,ばらつき約35nmの値を得た。
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分類 (2件):
分類
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ガラスの製造  ,  旋削,中ぐり 
タイトルに関連する用語 (5件):
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