抄録/ポイント:
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
ガラス切削が可能な超精密旋盤は,100N/μm以上の静剛性,加工時の振動抑制可能な案内,0.1μm以下の切込み量を安定して実現する位置決め機構,0.1μm以下の切込み量を加工範囲で維持可能な運動精度,熱変形で切込み深さが変動しない温度安定性が必要である。本精密旋盤では,ベッド上に台座を設け,その上に工具を駆動する案内機構(X軸)を搭載した。工具とテーブル位置検出用スケールが接近可能となり,X軸の案内機構には切削力によるモーメントが発生しない。X軸中央は両端支持のため自重による変形が生じるが,影響は微小である。X軸の水平方向真直度の測定では,真直度0.07μm,ばらつき約35nmの値を得た。