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J-GLOBAL ID：200902217854184564   整理番号：08A1119795

プラズマイオン制御によるカルシウム内包カーボンナノチューブの創製

Fabrication of Calcium Encapsulated Carbon Nanotubes by Plasma Ions Control

著者 (4件)： 清水哲弘 (東北大) ,  加藤俊顕 (東北大) ,  畠山力三 (東北大) ,  大原渡 (山口大)
資料名： 電気学会プラズマ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PST-08  号： 58-68  ページ： 53-57  発行年： 2008年10月31日 
JST資料番号： Z0951A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： Caプラズマの高効率生成を実現し,プラズマイオン照射法を用いてCa内包単層カーボンナノチューブ(Ca@SWNT)を製作し,電気特性を評価した。実験では熱陰極マグネトロン放電を用いてCaプラズマを生成した。TEMによる観測でCa@SWNTの製作を実証した。Caの照射時間の増加によりSWNTの半導体伝導特性がp型からn型に遷移した。Ca@SWNTのなかにはpn接合由来の特異な伝導特性を示すものがあった。これらの結果はCa原子が電子ドナーとして働き,プラズマプロセスを用いることにより,SWNTの伝導特性を自在に変化させることができる可能性があることを示した。

シソーラス用語： *プラズマ曝露 ,  *単層カーボンナノチューブ ,  電気特性 ,  P型半導体 ,  N型半導体 ,  カルシウム ,  プラズマ生成 ,  PN接合 ,  ドナー ,  時間依存性 ,  透過型電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察
準シソーラス用語： *Ca内包単層カーボンナノチューブ ,  プラズマイオン照射 ,  プラズマ照射 ,  照射時間 ,  電子ドナー

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  原子・分子のクラスタ  (BH09030O)

引用文献 (16件)：

• S. Iijima: “Helical microtubules of graphitic carbon”, Nature, Vol.354, pp. 56-58(1991)
• D. Yokoyama, T. Iwasaki, T. Yoshida, H. Kawarada, S. Sato, T. Hyakushima, M. Nihei, and Y. Awano: “Low temperature grown carbon nanotube interconnects using inner shells by chemical mechanical polishing”, Appl. Phys. Lett., Vol.91, No.22, pp. 263101-1-3(2007)
• R. Martel, T. schmidt, H. R. Shea, T. Hertel, and Ph. Avouris: “Single-and multi-wall carbon nanotube field-effect transistors”, Appl. Phys. Lett., Vol.73, No.17, pp. 2447-2449(1998)
• K. Esfarjani, A. A. Farajian, Y. Hashi, and Y. Kawazoe: “Electronic and transport properties of N-P doped nanotubes”, Appl. Phys. Lett., Vol.74, No.1, pp. 79-81(1999)
• S. Okada, S. Saito, and A. Oshiyama: “Energetic and Electronic Structures of Encapsulated Co in a Carbon Nanotube”, Phys. Rev. Lett., Vol.86, No.17, pp. 3835-3838(2001)

タイトルに関連する用語 (6件)： プラズマ ,  イオン ,  カルシウム ,  内包 ,  カーボンナノチューブ ,  創製