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J-GLOBAL ID：200902218208913414   整理番号：06A0328889

バイポーラパルスを利用したプラズマ式イオン注入法で試作した電気伝導性ダイヤモンド状炭素膜

Electrically Conductive Diamond-Like Carbon Coatings Prepared by Plasma-Based Ion Implantation with Bipolar Pulses

著者 (5件)： MIYAGAWA Soji (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technology(AIST), Nagoya, JPN) ,  NAKANO Setsuo (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technology(AIST), Nagoya, JPN) ,  CHOI Junho (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technology(AIST), Nagoya, JPN) ,  IKEYAMA Masami (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technology(AIST), Nagoya, JPN) ,  MIYAGAWA Yoshiko (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technology(AIST), Nagoya, JPN)
資料名： New Diamond and Frontier Carbon Technology  (New Diamond and Frontier Carbon Technology)
巻： 16  号： 1  ページ： 33-38  発行年： 2006年 
JST資料番号： L1952A  ISSN： 1344-9931  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ダイヤモンド状炭素(DLC)膜はエンジニアリング用途に注目を...

シソーラス用語： *DLC膜 ,...
準シソーラス用語： 電子線照射

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分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  原子・分子のクラスタ  (BH09030O)

タイトルに関連する用語 (7件)： バイポーラ ,  パルス ,  プラズマ ,  イオン注入法 ,  試作 ,  電気伝導性 ,  ダイヤモンド状炭素