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J-GLOBAL ID：200902218266285024   整理番号：03A0292723

半導体表面のncAFMによる複合測定

著者 (2件)： 富取正彦 (北陸先端科学技術大学院大) ,  新井豊子 (北陸先端科学技術大学院大)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 50th  号： 0  ページ： 130  発行年： 2003年03月27日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,...

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分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (2件)： 半導体表面 ,  NCAFM