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J-GLOBAL ID:200902235208350551   整理番号:07A0396127

モールド潤滑剤としての自己組織化単分子層(SAM)の応用

Applications of Self-Assembled Monolayers (SAMs) as the Mold Lubricant
著者 (9件):
資料名:
巻: 13th  号: Vol.2  ページ: 987-990  発行年: 2006年 
JST資料番号: L4269A  ISSN: 1883-2490  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
シソーラス用語:
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分類 (3件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  その他の添加剤,配合薬品,副資材  ,  有機化合物の薄膜 
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