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J-GLOBAL ID：200902245163984681   整理番号：09A0175069

臨界せん断応力によるDLC膜の密着強度の評価

Evaluation of Adhesion Strength of DLC Films Using Critical Shear Stress

著者 (5件)： CHOI Junho (東大 大学院工学系研究科) ,  石井啓資 (東大 大学院) ,  熊谷知久 (東大 大学院工学系研究科) ,  加藤孝久 (東大 大学院工学系研究科) ,  疋田康弘 (大豊工業)
資料名： トライボロジスト  (Journal of Japanese Society of Tribologists)
巻： 54  号： 2  ページ： 138-144  発行年： 2009年02月15日 
JST資料番号： F0390A  ISSN： 0915-1168  CODEN： TORAEO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： DLC(Diamond-like Carbon)膜は,高硬度で機械的特性に優れ,かつ電気的特性,化学的特性にも優れているため注目を集めている。本研究ではイオン化蒸着法を用いてDLC膜を作成し,深さ方向に作用するせん断応力および膜の剥離時に作用する臨界せん断応力を求めることで,薄膜の密着強度について評価した。これにより得た主な知見を次に示した。1)DLC膜の剥離臨界荷重はある膜厚で極小値を持つこと,2)DLC膜の剥離時の臨界せん断応力は膜厚によらずほぼ一定であること,3)臨界せん断応力を用いることで,界面に働く密着強度を本質的に表せること,また臨界せん断応力は膜の密着性を評価する有効なパラメータの一つとして利用できること,4)臨界せん断応力による密着強度の評価結果は密着エネルギーの観点で求めた結果と合致すること。

シソーラス用語： *DLC膜 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  *密着性 ,  *臨界剪断応力 ,  薄膜 ,  剥離試験 ,  蒸着 ,  膜厚 ,  引かき試験
準シソーラス用語： イオン化蒸着 ,  *強度評価 ,  *剥離強度

分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  金属の機械的性質  (BL01022T) ,  特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (12件)：

• 市村博司. プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用. 2005, 151
• 西口晃. イオン化蒸着法によるダイヤモンドライクカーボン被膜の特性と応用. 真空. 2004, 47, 12, 828
• OLIVER, W. C. An Improved Technique for Determining Hardness and Elastic Modulus Using Load and Displacement Sensing Indentation Experiments. J. Mater. Res. 1992, 7, 1564
• 金原粲. 薄膜の力学的特性評価技術. 1992, 218
• 新井大輔. マイクロスクラッチ試験機を用いた薄膜密着性の評価方法. 表面技術. 2007, 58, 295

タイトルに関連する用語 (4件)： 臨界せん断応力 ,  DLC膜 ,  密着強度 ,  評価