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J-GLOBAL ID：200902255480914880   整理番号：06A0590695

ナノファクトリーのための自立型ナノ加工・計測システムの開発

Development of stand alone nano machining and measuring system for nano factory

著者 (7件)： 小幡勤 (富山県工技セ) ,  松本岩男 (富山県工技セ) ,  杉森博 (富山県工技セ 機械電子研) ,  清水孝晃 (富山県工技セ 機械電子研) ,  森田昇 (富山大) ,  高野登 (富山大) ,  山田茂 (富山大)
資料名： 富山県工業技術センター研究報告  (Report of the Toyama Industrial Technology Center)
号： 20  ページ： I.1-I.2  発行年： 2006年07月01日 
JST資料番号： X0426B  ISSN： 0914-2207  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： ファクトリー ,  自立 ,  ナノ加工 ,  計測システム ,  開発