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J-GLOBAL ID:200902255773630453   整理番号:08A0265417

低温超音波計測による酸化熱処理シリコン結晶の原子空孔観測

著者 (7件):
資料名:
巻: 63  号: 1 第4分冊  ページ: 936  発行年: 2008年02月29日 
JST資料番号: S0671B  ISSN: 1342-8349  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (1件):
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半導体の格子欠陥 

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