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J-GLOBAL ID：200902255773630453   整理番号：08A0265417

低温超音波計測による酸化熱処理シリコン結晶の原子空孔観測

著者 (7件)： 渡邊肇 (新潟大 大学院) ,  後藤輝孝 (新潟大 大学院) ,  金田寛 (新潟大 物質量子科学研究セ) ,  根本祐一 (新潟大 大学院) ,  昆金正敏 (新潟大 大学院) ,  柳澤達也 (新潟大 物質量子科学研究セ) ,  中村慎太郎 (東北大 金属材料研)
資料名： 日本物理学会講演概要集  (日本物理学会年次大会講演概要集)
巻： 63  号： 1 第4分冊  ページ： 936  発行年： 2008年02月29日 
JST資料番号： S0671B  ISSN： 1342-8349  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *熱処理 ,  *ケイ素 ,  *酸化 ,  単結晶 ,  *空孔欠陥 ,  *超音波応用計測 ,  低温 ,  半導体

分類 (1件)： 半導体の格子欠陥  (BK12040Q)

タイトルに関連する用語 (7件)： 低温 ,  超音波計測 ,  酸化 ,  熱処理 ,  シリコン結晶 ,  原子空孔 ,  観測