文献

J-GLOBAL ID：200902259550180230   整理番号：08A0286208

FIB法によるDAC試料のTEM薄膜試料作製

Preparation of TEM Foil from DAC Sample using Focused Ion Beam System

著者 (1件)： 境毅 (東北大学国際高等研究教育機構)
資料名： 高圧力の科学と技術  (Review of High Pressure Science and Technology)
巻： 18  号： 1  ページ： 38-43 (J-STAGE)  発行年： 2008年 
JST資料番号： L1386A  ISSN： 0917-639X  CODEN： KKGIE2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： レーザによる加熱光学系を併用することで高温高圧状態を実験室に再現することが出来るレーザ加熱式ダイヤモンドアンビルセル(LHDAC)は,地球のマントル全域のみならず中心核の温度圧力領域まで研究は拡大している。一般にダイヤモンドアンビルセル(DAC)回収試料は非常に微細なため,その組成分析には分析装置(EDSやEELS)を備えた透過型電子顕微鏡(TEM)が有効である。ここでは,TEM薄膜試料の加工手段として最近用いられているFIB法について解説した。

シソーラス用語： *ダイヤモンドアンビル ,  *マントル ,  レーザ ,  光学系 ,  高温高圧試験 ,  地球 ,  *中心核 ,  透過型電子顕微鏡 ,  *薄膜 ,  方式
準シソーラス用語： FIB法 ,  TEM【顕微鏡】 ,  *ダイヤモンドアンビルセル ,  加熱光学系 ,  高温高圧 ,  *薄膜試料

分類 (1件)： 地球の内部構造・組成  (DC03080O)

引用文献 (14件)：

• [1] 藤野清志, 宮島延吉, 富岡尚敬: 高圧力の科学と技術, 10, 312 (2000).
• [2] K. Fujino, Y. Sasaki, T. Komori, H. Ogawa, N. Miyajima, N. Sata, T. Yagi: Phys. Earth Planet. Inter., 143-144, 215 (2004).
• [3] M. Miyahara, S. Uehara, E. Ohtani, T. Nagase, R. Kitagawa: 70th annual meeting of the meteoritical society, #5020 (2007).
• [4] R. Wirth, C. Vollmer, F. Brenker, S. Matsyuk, F. Kaminsky: Earth Planet. Sci. Lett., 259, 384 (2007).
• [5] T. Irifune, M. Isshiki, S. Sakamoto: Earth Planet. Sci. Lett., 235, 98 (2005)

タイトルに関連する用語 (6件)： FIB ,  DAC ,  試料 ,  TEM ,  薄膜 ,  試料作製