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J-GLOBAL ID：200902264287493702   整理番号：08A1008675

表面の原子・電子構造(STM・AFM)

著者 (1件)： 富取正彦 (北陸先端科学技術大学院大)
資料名： 電子顕微鏡大学講義テキスト
巻： 18th  ページ： 180-194  発行年： 2008年04月24日 
JST資料番号： L3075A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： STM(走査型トンネル顕微鏡)では,金属線の端を原子スケールで鋭利にした探針(プローブ)を作り,金属表面に距離1nm程度に近づけて,電圧を印加すると探針または試料にある電子が,真空障壁をトンネル抜けして,pA~nAの微小トンネル電流が流れる。トンネル電流を一定に保つと,探針(プローブ)と試料面間の間隔が一定になる。探針先端を原子スケールで鋭利にして,試料上を走査して得られた影像は,原子スケールの分解能を持っている。STM装置の構成を解説し,この装置で得られる,Si(111)7×7表面観察の再構成像により,原子配列観察を例示した。STMの登場により,様々な近接作用を利用して,材料表面の形状・特性を調べることが可能な走査型プローブ顕微鏡が開発されていて,その1つに,原子間力顕微鏡(AFM)があり,Si(111)7×7の原子スケール観察にも成功している。

シソーラス用語： *電子構造 ,  *原子構造 ,  *表面 ,  *走査型トンネル顕微鏡 ,  電流 ,  *プローブ ,  分解能 ,  配列 ,  *原子間力顕微鏡
準シソーラス用語： トンネル電流 ,  探針 ,  *原子配列

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (4件)： 原子 ,  電子構造 ,  STM ,  AFM