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J-GLOBAL ID：200902275486224097   整理番号：04A0729975

シリコンモールドによるダイヤモンドアレイ工具の創成とマイクロ加工への応用

著者 (9件)： 小幡勤 (富山県工技セ) ,  林弘樹 (富山大 大学院) ,  高野登 (富山大) ,  森田昇 (富山大) ,  山田茂 (富山大) ,  大山達雄 (富山大) ,  神田一隆 (不二越) ,  高野茂人 (不二越) ,  平井聖児 (ものつくり大)
資料名： 富山県工業技術センター研究報告  (Report of the Toyama Industrial Technology Center)
号： 18  ページ： I.4  発行年： 2004年07月01日 
JST資料番号： X0426B  ISSN： 0914-2207  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,シリコンの加工とCVD(化学的気相成長法)による...

シソーラス用語： *ダイヤモンド工具 ,...

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分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  切削一般  (QC02010V)

タイトルに関連する用語 (8件)： シリコン ,  モールド ,  ダイヤモンド ,  アレイ ,  工具 ,  創成 ,  マイクロ加工 ,  応用