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J-GLOBAL ID：200902280898745591   整理番号：08A0943259

レーザープラズマ光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM³の開発 3

著者 (6件)： 江島丈雄 (東北大 多元物質科研) ,  中村芳雅 (東北大 多元物質科研) ,  豊田光紀 (東北大 多元物質科研) ,  原田哲男 (東北大 多元物質科研) ,  羽多野忠 (東北大 多元物質科研) ,  柳原美広 (東北大 多元物質科研)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 69th  号： 2  ページ： 590  発行年： 2008年09月02日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： レーザプラズマ ,  光源 ,  *X線反射 ,  *多層膜 ,  *X線顕微鏡 ,  ターゲット ,  シンチレータ ,  蛍光顕微鏡 ,  *空間分解能 ,  結像 ,  砕屑堆積物 ,  真空紫外線 ,  軟X線

分類 (1件)： X線技術  (BA02060D)

タイトルに関連する用語 (6件)： レーザー ,  プラズマ光源 ,  透過型X線 ,  多層膜 ,  顕微鏡 ,  開発