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J-GLOBAL ID:200902283541982624   整理番号:09A1223883

切削抵抗計測機能を持つ微小穴加工用スピンドルの開発

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巻: 24  号: 13  ページ: 012-013  発行年: 2009年12月01日 
JST資料番号: X0147A  ISSN: 0912-5582  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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旋盤型微細穴加工装置BISSIAH ML10は,主軸を横型としドリルとともにワークも回転して加工する。最小加工径はφ0.03mmで,毎分4000回転で加工できる。ドリルの切削抵抗を検知し,設定した閾値を超えると自動的に主軸を後退させ折損を防ぐ。スピンドル軸を保持している弾性プレートの変形を歪みゲージで検出してスラストを検出し,スピンドル軸をドリル軸とモータ軸に分割し,薄板で連結し,ドリル軸とモータ軸の回転の時間差を光センサで検出し,トルクを検出する。平成17~19年度実施の地域新生コンソーシアム研究開発事業で開発した超微細デバイスでは,トルク検出に光センサ方式より感度の高い静電容量方式を採用した。
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