特許
J-GLOBAL ID：200903000588077913
薄膜磁気ディスク製造用基板ホルダー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大場 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-215586
公開番号（公開出願番号）：特開平7-062534
出願日： 1993年08月31日
公開日（公表日）： 1995年03月07日
要約：
【要約】【目的】 高保磁力の薄膜磁気ディスクを歩留り良く製造する。【構成】 薄膜磁気ディスク製造に用いられるインライン式スパッタ装置用ホルダーにおいて、ディスク基板を装着するパレットをフレームに支持するに、パレット外縁をフレーム内縁よりも小さいものとして、パレットをフレームに保持。
請求項（抜粋）：
薄膜磁気ディスク製造に用いられるインライン式スパッタ装置用ホルダーにおいて、ディスク基板を装着するパレットをフレームに支持するに、パレット外縁をフレーム内縁よりも小さいものとして、パレットをフレームに保持したことを特徴とする薄膜磁気ディスク基板ホルダー。
IPC (3件)：
C23C 14/50
, G11B 5/85
, H01F 41/18
