特許

J-GLOBAL ID：200903002392255280

珪素酸化物を表面に含む基板同士の貼り合わせ方法

発明者： 小川 洋輝 ,  堀池 靖浩 ,  高村 禅 ,  菊地 純
出願人/特許権者： 菊地 純 ,  小川 洋輝 ,  堀池 靖浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-150128
公開番号（公開出願番号）：特開2002-316842
出願日： 2001年04月12日
公開日（公表日）： 2002年10月31日
要約：

【要約】【課題】従来のふっ酸溶液を用いた少なくとも表面に珪素酸化物を含む基板同士の貼り合わせ方法は、簡便ではあるものの、貼り合わせ強度が弱く、剥がれやすいという欠点があった。【解決手段】少なくとも珪素酸化物を表面の構成要素として含む基板同士の貼り合わせにおいて、珪素酸化物生成の源となる六ふっ化珪酸(H2SiF6)を少なくとも含む溶液を当該貼り合わせを行う基板間に導入した後に、当該被貼り合わせ基板間に適当な圧縮圧力を印加する。

請求項（抜粋）：

少なくとも珪素酸化物を貼り合わせる面の表面の構成要素として含む基板同士の貼り合わせにおいて、少なくとも六ふっ化珪酸(H2SiF6)を含む溶液を当該貼り合わせを行う基板間に導入した後に、当該被貼り合わせ基板間に適当な圧縮圧力を印加することを特徴とする貼り合わせ方法。

IPC (2件)：

C03C 27/12 ,  G01N 37/00 101

FI (2件)：

C03C 27/12 Z ,  G01N 37/00 101

Fターム (6件)：

4G061AA02 ,  4G061BA05 ,  4G061CB04 ,  4G061CB12 ,  4G061CD18 ,  4G061DA23