特許
J-GLOBAL ID：200903011416568658

金属微粒子薄膜の製法

発明者：
味戸 克裕

味戸 克裕 について

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古川 一暁

古川 一暁 について

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中島 寛

中島 寛 について

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鳥光 慶一

鳥光 慶一 について


出願人/特許権者：
日本電信電話株式会社

日本電信電話株式会社 について


代理人 (2件)： 志賀 正武 ,  村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-243593
公開番号（公開出願番号）：特開2006-061748
出願日： 2004年08月24日
公開日（公表日）： 2006年03月09日
要約：
【課題】 金属微粒子薄膜の形成後に、金属微粒子1の粒径、形状、配列などの構造をナノメーターサイズで制御することができる金属微粒子薄膜の製法を提供する。また、金属微粒子1の構造制御に基づいて、金属微粒子薄膜にパターニングを行うことができる金属微粒子薄膜の製法を提供する。【解決手段】 基板上の金属微粒子1を含む薄膜に対して、この金属微粒子1の局所表面プラズモン2と共鳴可能な電磁波3を照射して金属微粒子薄膜を作製する。また、電磁波の照射径、偏光を調整し、電磁波のビームおよび基板のいずれか一方もしくは両方を移動させて金属微粒子薄膜を作製する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
基板上の金属微粒子を含む薄膜に対して、この金属微粒子の局所表面プラズモンと共鳴可能な電磁波を照射することを特徴とする金属微粒子薄膜の製法。
IPC (2件)：
B01J 19/12 ,  B82B 3/00
FI (2件)：
B01J19/12 G ,  B82B3/00
Fターム (10件)：
4G075AA24 ,  4G075AA63 ,  4G075AA65 ,  4G075BB08 ,  4G075BB10 ,  4G075CA24 ,  4G075EA01 ,  4G075EA06 ,  4G075EB32 ,  4G075EB34
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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