特許
J-GLOBAL ID：200903016158303298

加工用ビームを用いた加工方法と装置

発明者：
山口 作太郎

山口 作太郎 について


出願人/特許権者：
株式会社ワイ・ワイ・エル

株式会社ワイ・ワイ・エル について


代理人 (1件)： 加藤 朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-293949
公開番号（公開出願番号）：特開2005-059071
出願日： 2003年08月15日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：
【課題】 加工用ビーム照射によるサンプルの切断/分割を容易化する方法と装置の提供。【解決手段】 加工用ビームを照射して、サンプルを切断するにあたり固定治具(102、103)を、サンプル(100)の切断/分割方向に直交する方向に沿った対向辺に当接配置するとともに、サンプル(100)の切断/分割方向に平行な対向辺には所定の間隙を保って固定治具(104、105)を配置する。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
加工用ビームを用いた被加工物の加工方法において、 前記被加工物を支持固定する固定治具を、前記加工用ビームの切断/分割方向への照射に伴い前記被加工物内に生じる熱応力を緩和しないように配置し、 前記加工用ビームを、前記被加工物の切断/分割方向に照射して、前記被加工物を切断/分割する、ことを特徴とする加工方法。
IPC (6件)：
B23K15/00 ,  B23K15/08 ,  B23K26/00 ,  B23K26/06 ,  B23K26/10 ,  H01L21/301
FI (8件)：
B23K15/00 504B ,  B23K15/00 508 ,  B23K15/08 ,  B23K26/00 320E ,  B23K26/06 E ,  B23K26/06 J ,  B23K26/10 ,  H01L21/78 B
Fターム (15件)：
4E066AA01 ,  4E066BA05 ,  4E066BA12 ,  4E066BA13 ,  4E066BC09 ,  4E066BF07 ,  4E066CA14 ,  4E068AE01 ,  4E068CD03 ,  4E068CD05 ,  4E068CD10 ,  4E068CD14 ,  4E068CE08 ,  4E068CE09 ,  4E068DA10
引用特許：
出願人引用 (9件)
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