特許
J-GLOBAL ID：200903021401688547
超低膨張ガラス材料の線膨張係数解析評価方法、漏洩弾性波特性校正方法、漏洩弾性波特性を用いた解析評価方法、漏洩弾性波特性測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
草野 卓
, 稲垣 稔
, 中村 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-231023
公開番号（公開出願番号）：特開2006-047196
出願日： 2004年08月06日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：
【課題】超音波材料特性解析装置により超低膨張ガラスの線膨張係数の解析・評価を可能にする。【解決手段】超低膨張ガラス材料に対して、バルク波(縦波と横波)の音速、減衰係数の周波数依存性と密度を計測することにより、その基本音響特性を明らかにし、装置校正用の標準試料を作成する。標準試料を用いた絶対校正法により、LSAWとLSSCWの両方の速度の絶対値を求める。これらの値から、バルク波音速、弾性定数、ヤング率、ポアソン比を求めることができる。さらに、音響特性と線膨張係数の関係を求め、音響特性から線膨張係数を評価する。また、化学組成比、屈折率、密度などとの関係を求めることにより、それらの変化を音速の変化として捉える。周期的な脈理による特性分布が存在する場合は、脈理面に対する基板の切り出し角度を選択することにより、基板内の正確な音響特性分布を把握して評価を行う。【選択図】図 32
請求項（抜粋）：
超音波材料特性解析装置で測定した漏洩弾性波特性により超低膨張ガラス材料の線膨張係数を評価する超低膨張ガラス材料の線膨張係数評価方法であり、
(A) 化学組成比または結晶化プロセス条件の異なる複数の超低膨張ガラス試料に対し、線膨張係数および使用超音波周波数帯における漏洩弾性波特性、あるいは化学組成比、屈折率、密度を測定する工程と、
(B) 測定された漏洩弾性波特性を、標準試料を用いた絶対校正方法に基づいて絶対校正して実現される、超低膨張ガラス材料の漏洩弾性波特性を校正する工程と、
(C) 上記超低膨張ガラス試料の線膨張係数、化学組成比、屈折率、密度のいずれかと、上記絶対校正された漏洩弾性波特性との関係を求める工程と、
(D) 評価対象の超低膨張ガラス試料に対して漏洩弾性波特性を測定し、上記関係を基にして、線膨張係数、あるいは化学組成比、屈折率、密度を評価する工程と、
を含む超低膨張ガラス材料の線膨張係数評価方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (25件)：
2G047AA09
, 2G047AB04
, 2G047BA01
, 2G047BB02
, 2G047BC02
, 2G047BC03
, 2G047BC14
, 2G047BC20
, 2G047CA01
, 2G047CB01
, 2G047CB02
, 2G047CB03
, 2G047DB12
, 2G047EA10
, 2G047FA01
, 2G047GB25
, 2G047GF11
, 2G047GF18
, 2G047GG09
, 2G047GG12
, 2G047GG24
, 2G047GG33
, 2G047GG34
, 2G047GG41
, 2G047GJ22
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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引用文献：
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