X線回折光学素子

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：三枝英二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-309941
公開番号（公開出願番号）：特開2004-145006
出願日： 2002年10月24日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：

【課題】高強度のX線を試料に照射可能な光学システム、前記光学システムに好適な回折光学素子および前記回折光学素子を備えたX線顕微鏡を提供する。【解決手段】円形状基材にX線遮断層とX線透過層とが交互に等間隔で同心円状に積層された輪帯部分を有するX線回折光学素子、前記素子を備えた光学システムおよび前記素子を備えたX線顕微鏡。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

円形状基材にX線遮断層とX線透過層とが交互に等間隔で同心円状に積層された輪帯部分を有するX線回折光学素子。

IPC (4件)：

G02B5/18 , G02B3/00 , G21K1/06 , G21K7/00

FI (7件)：

G02B5/18 , G02B3/00 A , G02B3/00 Z , G21K1/06 B , G21K1/06 C , G21K1/06 M , G21K7/00

Fターム (7件)：

2H049AA03 , 2H049AA04 , 2H049AA13 , 2H049AA14 , 2H049AA31 , 2H049AA44 , 2H049AA55

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭57-104904
X線照明用ゾーンプレート
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-226838 出願人：株式会社ニコン
ゾーンプレート
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-328738 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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