特許
J-GLOBAL ID:200903035122935055

マイクロポンプ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 森 哲也 ,  内藤 嘉昭 ,  崔 秀▲てつ▼
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-120577
公開番号(公開出願番号):特開2005-299597
出願日: 2004年04月15日
公開日(公表日): 2005年10月27日
要約:
【課題】 マイクロポンプに要求される小型化を維持しながら、液体の輸送効率並びにポンプ機能の信頼性を向上させること。【解決手段】 圧電素子17の振動によってキャビティ1に減圧力が加わると、液体が供給口5から微小流路2を通ってキャビティ1に吸い込まれる。一方、キャビティ1に加圧力が加わると、キャビティ1内の液体が押されて微小流路3を通り流出口7から吐き出される。この際、微小流路3において液体の変動圧力及び圧電素子17の振動が弾性体16に加わるので、弾性体16が振動して変位し、この変位によって液体の輸送量が多くなるようにする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
液体を輸送するための内部空間であるキャビティと、このキャビティに連結された流路と、この流路に液体を流入する入口と流出する出口とを基板に有し、キャビティ及び流路の少なくとも一方に振動発生手段で振動を与えることにより液体を入口及び出口間で輸送するマイクロポンプにおいて、 前記キャビティ及び前記流路の少なくとも一方に、変動圧力に応じて変位する少なくとも1つの弾性体を取り付けた ことを特徴とするマイクロポンプ。
IPC (2件):
F04B43/04 ,  B81B3/00
FI (2件):
F04B43/04 B ,  B81B3/00
Fターム (13件):
3H077AA01 ,  3H077BB03 ,  3H077BB10 ,  3H077CC02 ,  3H077CC09 ,  3H077DD06 ,  3H077EE02 ,  3H077EE23 ,  3H077EE34 ,  3H077FF01 ,  3H077FF06 ,  3H077FF22 ,  3H077FF36
引用特許:
出願人引用 (1件)

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