特許

J-GLOBAL ID：200903036759904630

金属構造体およびその製造方法

発明者： 三澤 弘明 ,  上野 貢生 ,  坪井 泰之 ,  笹木 敬司
出願人/特許権者： 国立大学法人 北海道大学
代理人 (1件)： 鷲田 公一
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2006302765
公開番号（公開出願番号）：WO2006-092963
出願日： 2006年02月16日
公開日（公表日）： 2006年09月08日
要約：

入射光に対する波長選択性および偏光選択性を大幅に向上することができる金属構造体およびその製造方法。まず、固体透明基板(ガラス基板)(10)を洗浄し、乾燥させる(S100)。そして、基板(10)の表面にポジ型電子リソグラフィ用レジスト溶液をスピンコート塗布した後、ベイキングを行い、レジスト溶剤を除去して、レジスト薄膜(20)を基板(10)上に形成する(S200)。そして、レジスト薄膜(20)に電子線により所定のパターンを描画し、現像・リンス・乾燥を行う(S300)。そして、基板(10)上にクロム、次に金などの金属を順にスパッタリングにより成膜する(S400)。そして、基板(10)上から余分なレジスト材料を除去する(S500)。これにより、金属ナノロッドアレイ(40)が完成する。金属ナノロッドアレイ(40)は、基板(10)上に、サイズが精密に制御された金属ナノロッドを一定の微小な間隔でその方向を一軸方向にそろえて多数集積化した構造を有する。

請求項（抜粋）：

プラズモン共鳴吸収を有する金属構造体であって、 一定のサイズを有する複数のロッド状の金属微粒子を、基板上に、一定の間隔で、かつ、一定の方向に配置してなる金属構造体。

IPC (2件)：

G02F 1/01 ,  G01N 21/27

FI (2件)：

G02F1/01 F ,  G01N21/27 C

Fターム (11件)：

2G059AA01 ,  2G059BB12 ,  2G059CC16 ,  2G059EE01 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ21 ,  2H079AA08 ,  2H079BA02 ,  2H079BA04 ,  2H079DA01 ,  2H079HA01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 金属ナノロッド含有高分子フィルムと光学フィルター
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-365951   出願人：三菱マテリアル株式会社, 大日本塗料株式会社
• 金属ナノロッドと金属ナノロッド含有組成物およびその製造方法並びに用途
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-086625   出願人：三菱マテリアル株式会社, 大日本塗料株式会社