マイクロポンプ、及び、マイクロポンプを備える流体移送デバイス

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：木森有平 , 浅野典子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-285657
公開番号（公開出願番号）：特開2007-092694
出願日： 2005年09月29日
公開日（公表日）： 2007年04月12日
要約：

【課題】流体の定量移送が可能であり、移送流体が滞留しにくく、移送力が大きく、小型化が可能であり、操作及び製造が容易であり、これら総ての性能条件を満たすマイクロポンプ、及び、このマイクロポンプを利用した流体移送デバイスを提案する。【解決手段】流路1と、当該流路1の上流側及び下流側に設けられる一対の弁B1,B2とを備え、上流側の弁B1は、第1の隔膜6aにより当該流路と仕切られる第1の空間3aと、第1の隔膜6aの引き上げ及び押し下げを制御する制御手段4と、第1の隔膜6aの離接により当該流路1を開閉する流路内壁面の第1の突起3aとを備え、第1の空間3aは突起2aよりも下流側に及んでおり、下流側の弁B2は、第2の隔膜6bにより当該流路と仕切られる第2の空間3bと、第2の隔膜6bの離接により流路1を開閉する流路内壁面の第2の突起2bとを備えることを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

流路と、当該流路の上流側及び下流側に設けられる一対の弁とを備え、前記上流側の弁は、第1の隔膜により当該流路と仕切られる第1の空間と、当該第1の隔膜の引き上げ及び押し下げを制御する制御手段と、当該第1の隔膜の離接により当該流路を開閉する流路内壁面の第1の突起とを備え、当該第1の空間は当該突起よりも下流側に及んでおり、当該下流側の弁は、第2の隔膜により当該流路と仕切られる第2の空間と、当該第2の隔膜の離接により当該流路を開閉する流路内壁面の第2の突起とを備えることを特徴とするマイクロポンプ。

IPC (3件)：

F04B 43/02 , F04B 43/06 , B81B 3/00

FI (3件)：

F04B43/02 A , F04B43/06 Z , B81B3/00

Fターム (13件)：

3H077AA00 , 3H077BB10 , 3H077CC02 , 3H077CC09 , 3H077CC10 , 3H077CC11 , 3H077DD13 , 3H077EE01 , 3H077EE15 , 3H077FF01 , 3H077FF06 , 3H077FF21 , 3H077FF45

引用特許：

出願人引用 (11件)

電気浸透流ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-080292 出願人：科学技術振興事業団
液体マイクロポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-014089 出願人：科学技術振興事業団
液送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-107730 出願人：株式会社安川電機

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審査官引用 (6件)

膜連結による双安定マイクロアクチュエータ
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-528164 出願人：フラウンホーファー-ゲゼルシャフトツールフェルデルングデァアンゲヴァンテンフォルシュングアインゲトラーゲネルフェライン
逆止弁及びマイクロ流体素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-013519 出願人：財団法人川村理化学研究所
液体搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-264675 出願人：キヤノン株式会社

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