特許
J-GLOBAL ID：200903045713179557

インゴットの切断方法と切断装置及びウェーハ並びに太陽電池の製造方法

発明者：
山口 作太郎

山口 作太郎 について


出願人/特許権者：
株式会社ワイ・ワイ・エル

株式会社ワイ・ワイ・エル について


代理人 (1件)： 加藤 朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-133102
公開番号（公開出願番号）：特開2003-332273
出願日： 2002年05月08日
公開日（公表日）： 2003年11月21日
要約：
【要約】【課題】単結晶のインゴットを切断しウェーハを作成する時間を短縮し、インゴットからより多くの、薄いウェーハを得ることを可能とする方法、装置の提供。【解決手段】イオンビーム23の打ち込みにより単結晶インゴット10の表面に、劈開面に対応する結晶軸方向に格子欠陥を生成し、インゴッド10表面の格子欠陥が生成された部分に、ナイフエッジをたてて衝撃を与えて劈開を生じさせ、劈開面を切断面とする薄板に切断する。
請求項（抜粋）：
(a)単結晶のインゴットの表面に、結晶構造の劈開面に対応する結晶軸方向に沿って、格子欠陥を生成するステップと、(b)前記単結晶のインゴットの表面の格子欠陥が生成された箇所に、衝撃を与えて劈開を生じさせ、劈開面を切断面とするウェーハに切断するステップと、を含む、ことを特徴とする切断方法。
IPC (3件)：
H01L 21/304 601 ,  B28D 5/04 ,  H01L 31/04
FI (3件)：
H01L 21/304 601 H ,  B28D 5/04 B ,  H01L 31/04 A
Fターム (9件)：
3C069AA01 ,  3C069BA10 ,  3C069CA04 ,  3C069EA01 ,  5F051AA03 ,  5F051BA03 ,  5F051BA14 ,  5F051CB30 ,  5F051DA03
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (14件)
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