特許
J-GLOBAL ID：200903049779470541
全焦点反射型光学顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
工業技術院電子技術総合研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-266061
公開番号（公開出願番号）：特開2000-098247
出願日： 1998年09月21日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：
【要約】【課題】 基板上の超薄膜試料を反射型顕微鏡で観察する際に、全面に焦点が合うような全焦点反射型光学顕微鏡を提供する。【解決手段】 P偏光した照明光2を、薄膜試料4を裁置した基板3に対してブリュスター角θ1を以て入射させ、その反射光5を結像レンズ6の中央ではなく端に入れて非軸光学系にすることにより、像面8に垂直な軸と顕微鏡の光軸9との傾斜角度を小さくし、又、像面8に合わせるようにCCDカメラの光電面7を配置した。
請求項（抜粋）：
P偏光した照明光を、試料を裁置した基板に対してブリュスター角を以て入射させ、その反射光を結像レンズの中央ではなく端に入れて非軸光学系にすることにより、像面に垂直な軸と顕微鏡の光軸との傾斜角度を小さくしたことを特徴とする全焦点反射型光学顕微鏡。
IPC (3件)：
G02B 21/06
, G02B 21/00
, G02B 21/36
G02B 21/06
, G02B 21/00
, G02B 21/36
2H052AA00
, 2H052AB21
, 2H052AC09
, 2H052AC26
, 2H052AC30
, 2H052AC34
, 2H052AF14
