ホールパターン形状評価装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-173952
公開番号（公開出願番号）：特開平7-027548
出願日： 1993年07月14日
公開日（公表日）： 1995年01月27日
要約：

【要約】【目的】ホールパターンの形状をノイズに影響されずに細部に至るまで高精度に評価できるホールパターン形状評価装置を提供すること。【構成】電子顕微鏡によって試料6のホールパターンを画像表示用CRT20に拡大表示する。CRT20に、ホールパターン像と同時に十字カーソルが表示され、ホールパターン像の中心位置にポインティングデバイス18からの操作により十字カーソルを配置し、操作盤22から計測の開始を指示する。コンピュータ23は、十字カーソルの位置を中心としてホールパターン像を極座標に展開し、その極座標展開画像上で画像加算によってノイズを減少させたデータよりエッジを検出し、そのホールパターンの各角度方向の測定半径値、あるいは測定直径値を算出する。

請求項（抜粋）：

荷電粒子銃から放出された荷電粒子線を加速する手段と、その加速された荷電粒子線をコンタクトホールパターンが形成された半導体ウェーハ上で収束させる手段と、その収束された荷電粒子線を前記半導体ウェーハのコンタクトホールパターンが存在する領域上で走査する手段と、走査することにより前記半導体ウェーハ上から発生する検出信号を検出するための検出器と、その検出器の信号を像として表示する表示手段を備えたホールパターン形状評価装置において、前記表示手段の像表示面に一点を指定する手段と、その表示手段に表示された前記コンタクトホールパターンの像の中心に前記一点を前記手段により指定した場合、前記コンタクトホールパターンの像を前記一点を中心として極座標展開する手段と、その極座標展開画像上で前記ホールパターンのエッジを任意の測定点数分等間隔に検出する手段と、その手段により検出された前記測定点数分のエッジの情報をもとに前記ホールパターンの各角度方向の測定半径値、あるいは測定直径値を算出する演算手段とを備えたことを特徴とするホールパターン形状評価装置。

IPC (2件)：

G01B 15/00 , G06T 7/00

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平4-156828
特開平3-170140
特開昭53-018361

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