特許

J-GLOBAL ID：200903053871180956

マイクロデバイス

発明者： 下山 勲 ,  松本 潔 ,  岩瀬 英治 ,  武居 淳 ,  グェン ビン キエム
出願人/特許権者： 国立大学法人 東京大学
代理人 (4件)： 牛木 護 ,  吉田 正義 ,  今枝 弘充 ,  梅村 裕明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-002072
公開番号（公開出願番号）：特開2009-165302
出願日： 2008年01月09日
公開日（公表日）： 2009年07月23日
要約：

【課題】簡易な構成で小型化し得るマイクロデバイスを提供することを目的とする。【解決手段】マイクロモータ1では、エレクトロウェッティングを利用して、疎水性膜7と液体との接触角を円周方向に沿って周期的に変化させるようにした。その結果、表面張力を利用して液体膨出部3上に浮かせて載置させた回転板6を所定回転速度で回転させることができ、当該回転板6を固定するための固定部材や、従来のモータのような固定子等の複雑な機械的構成が不要となり、その分だけ簡易な構成にできると共に、小型化を図ることができるマイクロモータ1を提供し得る。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

複数の電極が所定パターンに沿って並んで配置され、疎水性膜が成膜された基板と、 導電性の液体からなり、前記電極に取り囲まれた領域内に配置され前記基板上から表面張力により膨出した液体膨出部と、 前記液体膨出部の表面張力により液表面に浮かんだ状態で載置され、外周辺に突出部を有する変動板とを備え、 前記電極及び前記液体膨出部に電圧が印加されて前記疎水性膜と前記液体との接触角が変化することにより前記液体膨出部が流動変形し、前記液体膨出部の表面張力を最小にするように前記突出部が追動して前記変動板が変動する ことを特徴とするマイクロデバイス。

IPC (2件)：

H02N 11/00 ,  B81B 3/00

FI (2件)：

H02N11/00 Z ,  B81B3/00

Fターム (9件)：

3C081AA11 ,  3C081BA51 ,  3C081BA53 ,  3C081CA13 ,  3C081CA31 ,  3C081DA06 ,  3C081DA10 ,  3C081DA27 ,  3C081EA41