特許

J-GLOBAL ID：200903057435350167

マイクロポンプ、成膜装置、及び成膜方法

発明者： 池上 浩 ,  早坂 伸夫
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-212592
公開番号（公開出願番号）：特開2003-028100
出願日： 2001年07月12日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：

【要約】【課題】駆動させてから吸引が行われるまでの動作時間の短縮化を図る。【解決手段】光を照射する光照射部100と、光照射により加熱されて、燃焼することによりガス化するガス発生膜112と、光照射部100とガス発生膜112との間に設置された透明基板111と、発生したガスが導入されるガス導入ノズル113と、ガス導入ノズル113の側方に設けられた吸引口114と、吸引対象物質120を回収する回収器115とを具備する。

請求項（抜粋）：

光照射部と、この光照射部からの光の照射によりガス化してガスを発生させるガス発生剤と、このガス発生剤から発生したガス流の側方に設けられ、吸引対象物質を吸引する吸引口を含む吸引部とを具備してなることを特徴とするマイクロポンプ。

IPC (5件)：

F04F 5/24 ,  B01J 4/00 101 ,  B01J 7/00 ,  B01J 19/12 ,  B05B 7/04

FI (6件)：

F04F 5/24 A ,  B01J 4/00 101 ,  B01J 7/00 A ,  B01J 19/12 B ,  B01J 19/12 C ,  B05B 7/04

Fターム (44件)：

3H079AA19 ,  3H079AA23 ,  3H079BB00 ,  3H079CC30 ,  3H079DD01 ,  3H079DD23 ,  3H079DD27 ,  4F033QA05 ,  4F033QB02Y ,  4F033QB03X ,  4F033QB17 ,  4F033QC06 ,  4F033QC09 ,  4F033QD02 ,  4F033QD04 ,  4F033QD15 ,  4F033QE15 ,  4F033QE20 ,  4F033QF23 ,  4F033QK02X ,  4F033QK08Y ,  4F033QK12 ,  4F033QK16X ,  4G068AB01 ,  4G068AB15 ,  4G068AC05 ,  4G068AC20 ,  4G068AD16 ,  4G068AD37 ,  4G068AD39 ,  4G068DA03 ,  4G068DA10 ,  4G068DB23 ,  4G068DD06 ,  4G075AA05 ,  4G075AA24 ,  4G075BC10 ,  4G075BD03 ,  4G075CA32 ,  4G075CA33 ,  4G075CA34 ,  4G075CA36 ,  4G075CA80 ,  4G075DA02