特許
J-GLOBAL ID:200903059165818806
高精度超音波材料特性解析装置及びその温度制御方法
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
草野 卓
, 稲垣 稔
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-346283
公開番号(公開出願番号):特開2005-114429
出願日: 2003年10月03日
公開日(公表日): 2005年04月28日
要約:
【課題】 zモータからの発熱変動の影響を明らかにし、zモータからの発熱量を一定にすることにより、周辺の温度環境を安定化させ、LSAW速度測定値の長期的測定再現性の向上を図る。【解決手段】 zモータ停止時の励磁電流をzモータ駆動時の励磁電流よりも増大させることで、zモータ停止時に不足する発熱(zモータ駆動時の鉄損分)を補償し、zモータの停止時と駆動時の発熱量を同じにすることにより、zモータの温度変動を小さくする。【選択図】図5
請求項(抜粋):
高精度超音波材料特性解析装置であり、
恒温チャンバーと、
上記恒温チャンバー内の温度環境を一定に制御する空調機と、
上記恒温チャンバー内で被測定試料に超音波を入射させ、その反射波を検出する超音波デバイスと、
上記恒温チャンバー内に配置され、上記超音波デバイスを上記被測定試料に対し垂直方向に相対的に移動させるステッピングモータと、
上記ステッピングモータに励磁電流を与えると共に停止/駆動信号に従って停止/駆動するzモータドライバと、
上記停止/駆動信号に応じて上記zモータドライバが発生する励磁電流の大きさを制御する励磁電流制御部と、
上記zモータドライバと上記励磁電流制御部に上記停止/駆動信号を与えるステージコントローラ、
とを含み、上記励磁電流制御部は上記停止/駆動信号に応答し、上記zモータドライバに対し上記ステッピングモータの停止期間には駆動期間より大きい励磁電流を発生させるよう制御することを特徴とする高精度超音波材料特性解析装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N29/20 501
, G01N29/26 502
Fターム (8件):
2G047AD19
, 2G047AD20
, 2G047BA03
, 2G047BC02
, 2G047CB01
, 2G047FA01
, 2G047GA06
, 2G047GA08
引用特許:
出願人引用 (10件)
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特許第3392041号公報
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LSAW伝搬特性測定方法及び測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-320932
出願人:櫛引淳一
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ステッピングモータの駆動装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-149008
出願人:東陶機器株式会社, 小糸工業株式会社
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レンズ駆動装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-220201
出願人:株式会社ニコン
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特公平7-037964
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特開平2-155827
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特開昭61-259163
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特表平7-500662
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ステージ装置及び露光装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-272841
出願人:株式会社ニコン
-
特許第3392041号
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審査官引用 (9件)
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LSAW伝搬特性測定方法及び測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-320932
出願人:櫛引淳一
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ステッピングモータの駆動装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-149008
出願人:東陶機器株式会社, 小糸工業株式会社
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レンズ駆動装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-220201
出願人:株式会社ニコン
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特公平7-037964
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特開平2-155827
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特開昭61-259163
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特表平7-500662
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ステージ装置及び露光装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-272841
出願人:株式会社ニコン
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特許第3392041号
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