特許

J-GLOBAL ID：200903078593244827

結晶成長観察装置

発明者： 塚本 史郎 ,  小口 信行
出願人/特許権者： 科学技術庁金属材料技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-340413
公開番号（公開出願番号）：特開平11-171692
出願日： 1997年12月10日
公開日（公表日）： 1999年06月29日
要約：

【要約】【課題】 原子レベルでの結晶成長実空間観察を可能とする。【解決手段】 分子線エピタキシィ(MBE)装置(1)内に走査型トンネル顕微鏡(STM)(2)を一体化させた装置であって、MBE装置内のSTM本体を真空状態で移動させるSTM移動機構(3)、MBE装置内の基板加熱機構との間に広いクリアランスを持つ基板ホルダー(11)を備え、STM本体(2)は防熱保護シールド(21)により高蒸気圧雰囲気や基板加熱に伴う放射熱から守られている。

請求項（抜粋）：

基板加熱機構を持つ基板ホルダーが配置された分子線エピタキシィ装置に走査型トンネル顕微鏡が一体化された装置であって、分子線エピタキシィ装置の真空容器内において、探針を持つ走査型トンネル顕微鏡本体を前記基板ホルダーに対して対向させて前後動させる移動機構を備えているとともに、前記走査型トンネル顕微鏡本体は、前記真空容器内の蒸気圧雰囲気や放射熱に対して防熱保護シールドされており、かつ、前記基板ホルダーは、走査型トンネル顕微鏡による観察時にはその本体の当接によってのみ支持されることを特徴とする結晶成長観察装置。

IPC (3件)：

C30B 23/08 ,  G01N 37/00 ,  H01L 21/203

FI (3件)：

C30B 23/08 M ,  G01N 37/00 B ,  H01L 21/203 M