音速測定による材料評価方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：草野卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-069181
公開番号（公開出願番号）：特開2002-267640
出願日： 2001年03月12日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】基板面、伝搬方向、モードごとの速度と他の化学的・物理的諸特性との間の検量線を、実験することなく数値計算により容易に求めることを可能にする。【解決手段】材料の音響関連物理定数(弾性定数、圧電定数、誘電率、弾性定数、密度)の予め選択した所望の独立な成分を化学組成比の関数として予め決定し、これにより任意の基板面、伝搬方向、モードに対する速度を化学組成比の関数として数値計算により求めることができ、速度測定による材料の評価、及び材料作製条件へのフィードバックを効率良く行うことが可能となる。

請求項（抜粋）：

音速測定により材料を評価する方法であり、(a) 名目化学組成比の異なる複数の音響関連物理定数決定用材料を作製するステップと、(b) それぞれの上記音響関連物理定数決定用材料のキュリー温度及び格子定数の一方を物理特性として測定し、その物理特性と化学組成比の既知の関係を使って、真の化学組成比Dを求めるステップと、(c) それぞれの上記音響関連物理定数決定用材料から所望の音響関連物理定数決定用基板を作成するステップと、(d) それぞれの化学組成比の上記音響関連物理定数決定用基板の音速v(vLSAW、vL、vS)、誘電率、及び密度を測定し、その結果に基づいて上記音響関連物理定数決定用材料の音響関連物理定数として弾性定数、圧電定数を決定するステップと、(e) 評価すべき材料の音速を測定し、測定結果を上記音響関連物理定数に基づいて所望のパラメータに変換し、それに基づいて上記材料を評価するステップ、とを含む。

Fターム (6件)：

2G047BC02 , 2G047BC14 , 2G047BC20 , 2G047CB03 , 2G047FA01 , 2G047GG36

引用特許：

出願人引用 (4件)

ダイヤモンド表面音波デバイスとその製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平8-513267 出願人：コウベ・スティール・ユーエスエイ,インコーポレイテッド
半導体装置とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-075234 出願人：大門正機, 鶴見敬章
被検体の弾性定数測定法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-295746 出願人：日本鋼管株式会社

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