特許
J-GLOBAL ID:200903080102922670

強誘電体単結晶製造のための原料組成決定方法及び強誘電体単結晶のキュリー温度の校正方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 草野 卓 ,  稲垣 稔
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-103891
公開番号(公開出願番号):特開2005-289676
出願日: 2004年03月31日
公開日(公表日): 2005年10月20日
要約:
【課題】組成変動許容範囲で量産可能な原料組成を決定し、その組成で育成された結晶の漏洩弾性表面波速度からキュリー温度を求めることを可能にする。【解決手段】コングルエント組成極近傍の組成の結晶の育成軸方向のLSAW速度分布測定を通して、育成軸方向分布(あるいは勾配)が0になる組成を決定し、その組成でのLSAW速度との絶対的関係を得る。原料組成のずれによる育成結晶組成の変動をシミュレーションすることにより、所望の組成変動幅以内の結晶を保証できる原料組成ずれの許容幅を見積もる。また、人工水晶の相転移点を用いた熱分析装置の校正により、キュリー温度測定値の絶対精度を向上させ、さらにLSAW速度を測定した試料に対するキュリー温度測定を行なうことで、両者の絶対的な関係を得る。以上により、極めて組成分布の小さい結晶量産を実現し、結晶化学組成の評価の信頼性のある絶対的指標を与える。【選択図】図19
請求項(抜粋):
強誘電体単結晶製造のための原料組成決定方法であり、 (a) コングルエント組成の近傍で異なる化学組成のn個の単結晶を作製する工程と、nは2以上の整数であり、 (b) 各単結晶の上部及び下部の漏洩弾性表面波速度VT(n)、VB(n)を測定する工程と、 (c) 工程(b) で得られた上記上部及び下部の漏洩弾性表面波速度VT(n)、VB(n)と仕込み時の原料組成との間の関係から、結晶の上部と下部で漏洩弾性表面波速度が一致する原料組成を真のコングルエント組成CCと決定する工程と、 (d) 上記漏洩弾性表面波速度、漏洩弾性表面波速度勾配、原料組成、結晶組成、密度の関係から、上記コングルエント組成からのずれの許容幅±ΔCCを求め、強誘電体単結晶製造のための原料組成を決める工程、 とを含むことを特徴とする原料組成決定方法。
IPC (2件):
C30B15/20 ,  C30B29/30
FI (3件):
C30B15/20 ,  C30B29/30 A ,  C30B29/30 B
Fターム (6件):
4G077AA02 ,  4G077BC32 ,  4G077BC37 ,  4G077CF05 ,  4G077EC07 ,  4G077EC10
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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引用文献:
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